Los manipuladores de vacío se utilizan para mover o colocar oblea o artículos en cámaras de vacío especializadas y para aplicaciones de manipulación de materiales. Proporcionan una mayor flexibilidad porque no se utilizan enlaces rígidos. Algunos manipuladores de vacío incluyen dispositivos de montaje o efectores finales. Otros incluyen bloqueos de carga y palancas oscilantes. A menudo, los manipuladores de vacío se utilizan junto con cámaras de vacío. Los manipuladores o robots de obleas son un tipo automatizado de manipuladores de vacío para mover obleas o sustratos dentro o fuera de una cámara de procesamiento de PVD, CVD, grabado por plasma u otras cámaras de procesamiento al vacío. Para crear una cámara de vacío, un motor de vacío o un motor de vacío bombea físicamente el aire desde el recipiente hasta que se alcanza la presión subatmosférica deseada. Si la cámara de vacío contiene un vacío ultra alto, entonces se debe utilizar un manipulador de vacío ultra alto y un motor de vacío ultra alto.
1. El diseño único de la ventosa puede hacer que el objeto suba o baje a voluntad, pero también puede girar en cualquier dirección del asiento fijo de la ventosa para que la operación sea conveniente y precisa. El diseño del control remoto aporta comodidad a la operación y garantiza la seguridad de los usuarios.
2. La abrazadera de la máquina de succión al vacío adopta una placa de succión importada, con una fuerte fuerza de adsorción, alta seguridad y protección de los productos contra daños.
3. La grúa de vacío puede transportar fácilmente artículos con superficies frágiles, difíciles de levantar y lisas para mejorar la eficiencia, reducir la mano de obra y ahorrar costos empresariales.